X射线柱面镜拼接检测大角度定位误差校正

摘要：

为解决拼接干涉测量过程中的子孔径机械定位误差问题，提出一种基于遗传算法的定位误差补偿方法。该算法利用子孔径重叠区域匹配度作为适应度函数，再使用误差搜索算法计算并补偿子孔径测量过程中产生的定位误差。通过仿真及实验证明该算法对子孔径机械定位误差的补偿能力。拟合柱面镜的仿真结果显示，该算法角度误差计算精度优于0.01°，平移误差计算精度优于0.16 mm，且补偿后的拼接面形与仿真面形基本一致。对曲率半径接近100 m的椭圆柱面镜的拼接测量实验结果表明，所提出的机械误差补偿算法可以有效补偿拼接测量过程中引入的机械定位误差，减少子孔径测量过程中对高精度机械位移平台的依赖。

关键词：X射线光学

所属期刊栏目：59

分类号：TP274.5;TP391.41;TN911.73

在线出版日期：2022-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：1734002