基于Fano共振的全介质超表面传感器

摘要：

为了实现高灵敏度的双参量传感，设计了一种对称的全介电超表面结构。在超表面上涂覆气敏薄膜后，会产生标记为dip 1和dip 2的两个Fano共振峰，可用于同时测量折射率和气体体积分数。计算结果表明，dip 1的折射率灵敏度和气体体积分数灵敏度分别为1035 nm/RIU和-0.57 nm/%，dip 2的折射率灵敏度和气体体积分数灵敏度分别为543.6 nm/RIU和-0.87 nm/%。该传感器可用于双参量的高灵敏度测量，且这种对称结构得到的透射谱不受光源偏振角度的影响，提高了传感器对光源的适应性，为环境空间的检测提供了一种新方法。

关键词：传感器、偏振无关

所属期刊栏目：59

分类号：O436.3;TM910.3;TP212.3

在线出版日期：2022-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：1728001