基于光频梳的太赫兹器件面形测量技术研究

摘要：

利用双光梳飞行时间法对小口径太赫兹天线及反射器面形进行了三维测量。实验中，单像素点测量时间为8 μs，纵向测量误差为1.3 μm。相较于传统的激光干涉法，双光梳法兼具了模糊距离大、测量精度高以及数据更新快等优势，为微波/太赫兹器件的面形测量提供了新途径。

关键词：测量、太赫兹、干涉、相干、成像系统、measurement、terahertz、interference、coherence、imaging systems

所属期刊栏目：49

分类号：TN249;TN929.11;TP391.41

在线出版日期：2022-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：1704001