双氧水体系抛光液中7003铝合金的化学机械抛光

摘要：

在碱性抛光液条件下,研究了过氧化氢抛光液体系下7003铝合金化学机械抛光行为.采用电化学分析方法分析了过氧化氢和十二烷基硫酸钠的协同作用机制,利用原子力显微镜观察抛光后的表面微观形貌.结果表明,低浓度H2 O2能够加速铝合金表面氧化速度,促进材料的去除,同时能够减轻抛光后的表面橘皮缺陷;较高浓度H2O2能够在铝合金表面生成致密氧化膜,降低抛光速率.阴离子表面活性剂SDS能够通过吸附成膜减缓铝合金在H2O2介质下的腐蚀速率,当SDS的含量为1％时,缓蚀率达到88.56％,有效降低了抛光后的表面腐蚀,通过AFM检测抛光后的表面粗糙度降至13.9nm.

关键词：7003铝合金、化学机械抛光、缓蚀剂、表面形貌

分类号：TG175.3(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51005102;清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金项目SKLTKF101304;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目JUDCF13028;江苏省高等职业院校国内高级访问学者计划资助项目2014FX057;江苏高校品牌专业建设工程项目PPZY2015B186.

在线出版日期：2016-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：49-52