多晶硅生产中废气处理工艺设计

摘要：

多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料,随着我国太阳能产业的快速发展,多晶硅的需求量也与日俱增.介绍了多晶硅的用途、分类,生产工艺进展,改良西门子法的工艺过程,分析了多数企业在多晶硅生产过程中废气和残液的处理过程及缺点,指出了一种废气处理的新工艺.

关键词：多晶硅、废气、处理、工艺设计

分类号：X701(一般性问题)

在线出版日期：2013-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：71-73