CVD高纯钦过程中杂质Mn的热力学行为分析

摘要：

以卤化剂和海绵伙为原料,采用特殊的工艺设备,利用化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛.对高纯钛伙设备过程中Mn的行为进行了热力学分析;在卤化源区73.15K-973. 15K条件下,杂质元素Mn与I形成MnI2;在沉积区温度1400K-1650K条件下,MnI2不发生分解,可以抑制杂质元素Mn的污染;文章结合实验条件对高纯钛中的杂质Mn的污染途径做了分析.

关键词：Mn、热力学、高纯钛、杂质

分类号：TF823(有色金属冶炼)

在线出版日期：2011-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：66-69,77