影响CVD高纯钛工业化因素研究

摘要：

CVD法制备高纯钛过程中,高纯钛沉积速率和杂质含量是制约其规模化生产的主要原因.本文对沉积速率和杂质含量的影响因素进行了分析,发现影响沉积速率的主要因素是:真空度、温度以及加碘方式.影响杂质含量的主要因素是真空度、温度、TiI2蒸汽压以及海绵钛的质量.

关键词：CVD、高纯钛、工业化、沉淀速率、杂质含量

分类号：TF823(有色金属冶炼)

在线出版日期：2010-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：45-49