基于深度学习的光学元件表面疵病识别

摘要：

精密光学元件表面疵病的人工检测分类方法效率低,且准确率易受疲劳等人工因素影响,而基于传统机器学习方法的分类准确率有待进一步提高.提出了一种基于深度学习卷积神经网络的光学大尺寸元件表面疵病识别方法.首先,通过现场实验采集并整理了大尺寸镜面疵病样本;接着,基于单通道灰度图像构建融合梯度的三通道图像,挖掘更深入的特征表达;最后,基于经典的LeNet网络,提出了面向激光惯性约束聚变(ICF)的光学元件表面疵病识别网络ICFNet,该网络不需要复杂的手工特征设计和提取,仅使用原始灰度图像就实现高效的疵病识别.实验结果表明:针对包含麻点、划痕和灰尘的三类疵病数据,ICFNet相较于使用多项特征和支持向量机的传统方法拥有较好的分类准确率.

关键词：深度学习、卷积神经网络、精密光学元件、缺陷分类、LeNet

所属期刊栏目：34

分类号：TP391.4(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;四川省科技厅项目;四川省科技厅项目

在线出版日期：2022-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：39-44