砷化镓光导开关的损伤形貌研究

摘要：

制作了同面型砷化镓光导开关,并测试了其导通性能.在偏置电压8?kV、激光能量10?mJ、重复频率10?Hz的条件下,研究了光导开关触发104次后器件表面的损伤形貌.利用激光扫描共聚焦显微镜,对电极边缘及电极间的损伤形貌进行分析,研究发现阳极边缘由于热积累形成热损伤,而阴极边缘的热损伤来源于热应力,并对电极间损伤形貌进行细致表征及分类.

关键词：光导开关、砷化镓、损伤、形貌、热效应

所属期刊栏目：34

分类号：TN36(半导体技术)

资助基金：山东省重点研发计划项目;山东省重点研发计划项目

在线出版日期：2022-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：140-145