氘钛等离子体高压查尔特鞘层特性理论研究
建立了混合多组分等离子体高压查尔特鞘层动力学模型,数值研究了氘钛等离子体高压查尔特鞘层特性.理论与数值研究结果表明,提升D+离子比例、降低D+离子及Ti2+离子入鞘速度、降低等离子体密度等方式,均会有效增加鞘层厚度,并降低靶面场强幅值,这些方式有利于离子汇聚传输和降低靶面击穿风险.随加速电压的增加,离子引出稳定工作区域范围呈现先增加后减小的趋势.增加D+离子比例、减小D+离子及Ti2+离子入鞘速度,均会显著增加离子引出稳定工作区域范围.
混合多组分等离子体、高压查尔特鞘层、动力学模型
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TN752.5(基本电子电路)
国家自然科学基金;国家自然科学基金
2022-07-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共9页
90-98