放电功率变化对电磁波在电感耦合闭式等离子体中的衰减特性

摘要：

射频电感耦合等离子体(ICP)放电方式能够在较宽的压强范围内产生大面积、密度高的等离子体,在对电磁波衰减应用中具有较大优势.通过研究ICP等离子体与电磁波相互作用的过程,改进闭式等离子体模型,建立电磁波在非均匀等离子体中传播的分层计算模型,对实测诊断分布情形下等离子体与电磁波的相互作用进行研究,得到不同功率条件下电磁波衰减的变化情况;提出射频电感耦合闭式等离子体用于电磁波衰减的方法并实验验证,基于等离子体覆盖金属平板的测量模型,在实验室内搭建了以金属板为衬底的弓形微波反射测试系统,研究了闭式等离子体对4～8?GHz频段范围内微波反射的作用特性,以及不同射频功率对微波反射的影响规律,并将实验测量与计算结果进行对比分析.实验表明,通过功率调节,电感耦合闭式等离子体对5.92～6.8?GHz频带电磁波具有明显的衰减作用.

关键词：电感耦合等离子体、电磁波衰减、分层模型

所属期刊栏目：33

分类号：TM31(电机)

资助基金：国家自然科学基金12075319

在线出版日期：2021-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：101-108