大公差宽容度矩形孔准周期阵列实现对高阶衍射的有效抑制

摘要：

传统光栅的基础研究和应用研究进展一直备受关注.然而,高阶衍射污染使传统光栅获得的光谱纯度受到严重影响.为了抑制高阶衍射贡献,人们提出了许多单级或准单级光栅的设计方案,但它们对高阶衍射的抑制效果不可避免地受到加工精度的限制.提出了一种准周期矩形孔阵列光栅,通过优化矩形孔的概率密度分布函数,获得了比以往设计更大的加工误差宽容度.对这种光栅的衍射特性进行了分析研究.理论计算表明,即使孔径相对误差超过20％,光栅也可以完全抑制二阶、三阶和四阶衍射,五阶衍射效率与一阶衍射效率之比小于0.01％,大大降低了对加工精度的要求.

关键词：单级衍射光栅、X射线、光谱仪、加工误差宽容度

所属期刊栏目：32

分类号：O436.1;O434.13(光学)

资助基金：National Key Research and Development Program of China ;National Natural Science Foundation of China

在线出版日期：2020-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：60-65