基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测方法

摘要：

利用调焦方式可以实现焦距的连续变化从而对不同物距下的光学组件进行在线检测,但是调焦过程操作复杂且对调焦位移精度要求较高,景深内光学元件缺陷无法区分,难以实现真正意义上的在线检测.因此,本文提出了基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测方法.首先建立了相机阵列的成像模型并给出了数字重聚焦表达式以及空间分辨率的表达式.接着利用MATLAB模拟相机阵列成像过程和数字重聚焦过程.最后进行实验验证,通过二维位移台带动相机对不同物距下的多个光学元件表面缺陷进行成像获得阵列相机图像,通过数字重聚焦算法得到不同物距下的光学元件表面缺陷分布信息.实验结果表明,基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测技术能够同时对位于景深范围内的光学组件进行在线检测.该方法在光学元件缺陷在线检测方面有着一定的应用价值.

关键词：在线检测、相机阵列、数字重聚焦、光学组件

所属期刊栏目：32

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：脉冲功率激光技术国家重点实验室开放基金项目SKL2018KF05

在线出版日期：2020-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7