紫外熔石英元件高精度低缺陷控形控性制造技术研究进展

摘要：

传统的紫外熔石英元件加工方法本身会引入各类制造缺陷,需要后期加工来消除前期加工带来的缺陷,限制了熔石英元件的加工质量和加工效率.针对这些问题,课题组提出了采用磁流变、离子束、保形光顺和流体动压抛光等可控柔体加工技术提升熔石英元件的加工效果,并开展了相关研究.主要介绍了课题组在关键技术上取得的重要进展,包括亚纳米精度表面控形制造技术、纳米精度本征表面控性生成方法、熔石英元件高精度低缺陷组合工艺与设备等一系列关键技术.通过探讨关键技术及其发展现状,为未来紫外熔石英元件高精度低缺陷制造技术的发展提供参考.

关键词：熔石英元件、高精度、低缺陷、纳米精度、表面控形制造、本征表面

所属期刊栏目：32

分类号：TH161

资助基金：国家自然科学基金重点项目;国家自然科学基金联合基金项目;国家自然科学基金面上项目

在线出版日期：2020-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：27-33