基于等离子体紫外辐射的强激光自动寻焦系统

摘要：

精准定位激光束焦点位置是提高激光雕刻、切割、焊接等加工精度的重要基础,而传统测量方法不适用于自动寻找强激光焦点.基于激光烧蚀金属后等离子发光含大量紫外谱线的原理,以日盲的氮化镓肖特基光电二极管为传感器,设计了以304不锈钢靶材为耗材的红外强激光束自动寻焦方法及其装置.该方法与共聚焦显微镜检测平均烧蚀坑深的方法相比,当以脉冲宽度100 ns、重复工作频率20 kHz、平均功率10 W的1064 nm光纤激光雕刻机为实验对象时,二者定焦位置相差24μm.

关键词：强激光、焦点、紫外辐射、等离子体、氮化镓

所属期刊栏目：31

分类号：TG485(焊接、金属切割及金属粘接)

资助基金：国家自然科学基金项目61575158;陕西省技术创新引导专项项目2019CGXNX-037

在线出版日期：2019-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：31-36