常压百级洁净度环境中SiO2薄膜稳定性

摘要：

在常压百级洁净度环境下,采用三种不同折射率的 SiO2溶胶在熔石英基底上涂制四种不同薄膜,利用光学理论计算模拟了三种胶体涂制的膜层稳定性,通过实验考查了膜层光学指标随时间的变化规律.SiO2薄膜能够显著提升光学元件透射率,但由于膜层表面的大量羟基及其多孔结构,SiO2薄膜易吸附周围环境中的有机污染物及水分填充膜层孔隙,从而导致膜层折射率发生变化,影响膜层透射率、反射率等光学性能.实验结果发现,三种溶胶凝胶化学膜在常压百级环境中的有效期为80 d(绝对变化率小于0.1%),且三种胶体涂制的膜层稳定性由高到低依次为折射率1.19,1.15,1.25的膜层.

关键词：SiO2薄膜、常压、百级环境、透射率、反射率、折射率

所属期刊栏目：30

分类号：YN24

在线出版日期：2018-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：20-25