考虑光镊效应的飞秒激光双光子加工线宽

摘要：

采用自由基浓度起伏理论结合光镊集聚效应,理论研究了飞秒激光双光子加工的线宽问题.根据双光子光聚合过程中自由基浓度随时间变化的关系,考虑光镊效应对自由基分布范围的影响,得到了飞秒激光双光子加工线宽的表达式.研究了线宽随扫描速度与激光功率的变化关系,并讨论了不同光引发剂对线宽的影响.得到了以自由基浓度起伏为基础,并考虑光镊效应的双光子加工线宽表达式,该结果与实验结果相符.研究结果为飞秒激光双光子加工的研究提供了新的思路,为光镊集聚效应对线宽影响的实验研究提供了理论依据.

关键词：飞秒激光、双光子、线宽、自由基浓度、光镊效应

所属期刊栏目：30

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：江苏省自然科学基金项目BK20161342;江苏省"六大人才高峰"高层次人才项目GDZB-018;江苏省高校自然科学研究重大基金项目15KJA140001

在线出版日期：2018-03-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：79-83