基于PET基片的柔性石墨烯应变计加工方法

摘要：

针对PET塑料耐温性能较差,与标准微纳加工工艺不兼容等问题,开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺.通过CVD生长、转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于0.5mm厚PET基底,并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计.工艺结果表明,本研究所提出的加工方法适用于以PET塑料作为衬底材料的柔性微纳器件的制作.通过对PET塑料衬底施加应变并测量石墨烯的电阻变化率,可计算出石墨烯的压阻应变系数约为1.3.

关键词：石墨烯、应变计、PET塑料、微纳加工

所属期刊栏目：30

分类号：O613.71(无机化学)

资助基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金项目2015B0403083

在线出版日期：2018-03-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：75-78