原位溅射型单次试开密码鉴别电路

摘要：

针对目前微机电系统密码锁中的鉴别器结构复杂、智能电子密码锁可靠性不高的问题，设计了一种 N bit 的原位溅射型单次试开密码鉴别电路。N bit 的密码鉴别电路，由2N (N 级、每级2个)个原位溅射型 OFF-ON 开关按照每级“二选一”的逻辑、N 级级联的形式构成；将原位溅射型 OFF-ON 开关(OFF 态到 ON态的单向切换具有不可逆特性)与具有熔断特性的保险丝按照装定密码对应的电路关系进行连接，构成了原位溅射型单次试开固态密码锁，可将此密码锁用于对安全性要求高的要害系统、设施中。为了获得原位溅射型OFF-ON 开关中金属爆炸箔与叉指电极之间的间隙，给出了三种固态密码鉴别电路的微加工工艺方案。

关键词：微电子机械系统、原位溅射、鉴别电路、密码锁、单次试开

所属期刊栏目：28

分类号：TJ430.3;TJ430.2(弹药、引信、火工品)

资助基金：国家自然科学基金项目61574131;中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目2014ZA001;核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目2016KF02;西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目14zxtk01

在线出版日期：2016-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：114101-1-114101-5