脉冲 CO2激光烧蚀锡靶等离子体的数值模拟

摘要：

使用一维辐射流体力学程序 MULTI 模拟了脉冲 CO 2激光烧蚀平面锡靶的过程，研究了脉冲宽度、峰值功率密度、靶材初始密度对锡等离子体电子密度、电子温度的时空分布的影响，并结合统计分析得到最有利于产生13.5 nm 极紫外光的激光脉冲宽度。模拟结果表明，脉冲宽度为100~200 ns 的长脉冲激光产生的等离子体有利于实现极紫外输出的最佳条件，通过分析等离子体的电子密度、电子温度的分布对这一结论进行了解释。临界电子密度区域有效吸收了脉冲能量，而低密度的羽辉对激光与极紫外辐射的吸收很少。采用长脉冲激光，使得辐射极紫外等离子体持续时间更长，是提高极紫外辐射效率的有效手段。同时模拟还发现，靶材初始密度对等离子体参数的影响不大。

关键词：MULTI、CO 2 激光、等离子体、极紫外、脉冲宽度

所属期刊栏目：28

分类号：O53(等离子体物理学)

资助基金：中央高校基本科研业务费资助项目HUST2016YXMS028

在线出版日期：2016-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：112007-1-112007-7