冲击环境下 MEMS 器件的弹性限位块设计

摘要：

采用限位块可以提高 MEMS 器件的抗冲击性能，但由于冲击环境中 MEMS 结构与限位块的碰撞过程可能产生较大的瞬间冲击以致器件失效，用弹性限位块可以有效解决上述问题，但是其防护效果会受到限位参数的影响。为了得到限位块最佳设计参数，首先建立了 MEMS 器件的冲击动力学模型，提取了影响 MEMS 器件冲击响应的因素，进而分析了限位块弹性系数、限位距对冲击响应的影响；最后提出了限位块的设计方法并给出了最终设计结果。结果表明：设计弹性限位块需要兼顾限位效果和缓冲性能，同时减小限位距也可显著提高微器件抗冲击性能。

关键词：MEMS 器件、冲击环境、弹性限位块、弹性系数、限位距

所属期刊栏目：28

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：supported by Shanghai Municipal Natural Science Foundation 16ZR1438800；National Natural Science Foundation of China 51075305

在线出版日期：2016-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：064131-1-064131-6