微型填充式气相色谱柱的制备
为了分离永久性气体及低碳轻化合物,基于 MEMS 技术,研究制备了一种微型填充式的气相色谱柱。为了增加色谱柱的长度以及深宽比,色谱柱的沟道制备采用了激光刻蚀技术,这种技术可以方便的在玻璃基底上刻蚀出深沟道,这是其他化学腐蚀技术无法比拟的。研制的色谱柱其沟道横截面为1.2 mm(深度)×0.6 mm(宽度),深宽比为2∶1。实验结果表明,这种微型填充柱,具有较大的样品容量,能很好的实现 CO 和 SO2的分离。
微型填充式气相色谱柱、微型色谱系统、分离效率、样品容量
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TN242(光电子技术、激光技术)
supported by National Natural Science Foundation of China 61176112,60976088;Beijing science and technology plan project Z141100003414003
2016-05-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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