一种气压传感器新型标定补偿方法

摘要：

通常气压传感器的标定补偿方法复杂耗时，开发了一种新的方法去简化气压传感器的标定补偿。首先，设计恒温结构，并通过 PID 算法自动调节，使气压传感器的核心敏感元件工作于某一个固定温度（此温度稍高于气压传感器需要工作的最高温度点）；其次，把气压传感器在与这个固定温度点相等的环境温度下进行标定；最后，完成标定后不管环境温度如何变化，气压传感器敏感元件始终工作在一个恒定的温度，因此气压传感器的标定与补偿可以得到简化。经测试，气压传感器在一定的环境温度范围内实现恒温工作，标定后可以以较高的精度测量气压，实验结果表明经过标定补偿后的气压传感器可以在实际中应用。

关键词：MEMS、气压、传感器、恒温

所属期刊栏目：28

分类号：TN242(光电子技术、激光技术)

资助基金：supported by National Natural Science Foundation of China 51305423

在线出版日期：2016-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：064114-1-064114-5