基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术

摘要：

为实现惯性约束聚变实验中核心部件球形靶丸表面形貌的高精度、高效率、无遗漏检测，建立了基于子孔径拼接和衍射干涉技术相结合的靶丸形貌测量装置，给出了测量的基本原理及系统单孔径横向分辨率的计算方法，并对靶丸旋转扫描时子孔径的排布进行了划分。针对点云数据横向间隔过大导致匹配算法迭代收敛速度缓慢，甚至不收敛的问题，提出以虚拟的极小半径代替实际曲率半径，将点云进行横向压缩的方法，在保持形貌特征不变的同时提高算法的匹配速度和准确性。最后，对直径1 mm 的镀金球靶进行了实际测量，得到拼接后相对形貌误差峰谷值和均方根值分别为1．332λ和0．479λ的检测结果，可以同时获得表面形貌的整体起伏特征，以及局部的形貌细节。

关键词：移相衍射干涉测量、靶丸、表面形貌、子孔径拼接

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金项目61275096，51275120；哈尔滨工业大学科研创新基金项目HIT．NSRIF201098

在线出版日期：2016-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：022006-1-022006-5