同轴法射线相衬成像的数值模拟计算与分析

摘要：

对同轴法射线相衬成像进行数值模拟计算,可用于特定对象检测方法的可行性分析或检测参数优化.为此,分析了同轴法射线相衬成像系统数值模拟计算的原理及其实现方法,并针对圆形物体、长条形物体进行了相衬成像实验的数值模拟计算.对照计算结果进行分析可知:对物体平面进行离散化的尺寸很大程度上影响到数值模拟计算结果的准确程度,究其原因在于对物体平面进行离散化时决定了成像系统光学传递函数离散化的准确程度;为保证数值模拟结果的准确性,应使数值计算中光学传递函数取值点连续、不存在明显的失真;保证数值模拟结果准确所需的光学传递函数的离散化尺寸不是固定的,而是应与检测对象的大小相匹配.

关键词：同轴法射线相衬成像、数值模拟、光学传递函数、离散化尺寸

所属期刊栏目：27

分类号：O434(光学)

资助基金：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目K858

在线出版日期：2015-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：217-221