Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术

摘要：

针对高平均功率固体激光器对Nd∶YAG晶体板条的技术需求,进行了Nd∶YAG晶体板条低透射波前误差加工技术研究.详细分析了光学加工过程中引起板条端面透射波前畸变的误差来源,并提出工艺技术解决方案.实验结果表明,在板条抛光阶段通过采用合成盘硬抛光工艺以及新的工件装夹技术,能够解决传统板条加工工艺在面形及楔角精度方面可控性差的问题,更容易实现Nd∶YAG晶体板条的低透射波前误差加工.对于150 mm×30 mm×2.5 mm规格的Nd∶YAG晶体板条元件,端面透射波前畸变PV值达到0.74λ.

关键词：Nd∶YAG晶体、板条、透射波前、光学加工、抛光

所属期刊栏目：27

分类号：TQ171.73

资助基金：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室自主基金重大项目ZZ13003

在线出版日期：2015-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：171-176