金黑腔方形诊断孔电火花铣削加工技术

摘要：

通过电火花加工技术,采用分层铣削加工方法,利用形状简单的圆柱电极,实现了Au黑腔侧表面方形诊断孔的加工.通过对分层厚度的控制,将放电区域控制在电极底部,避免了电极侧面放电对诊断孔尺寸的影响.通过扫描电镜对诊断孔形貌进行检测,采用奥林巴斯测量显微镜测量诊断孔尺寸,结果表明:孔的尺寸加工精度可控制在±5 μm,诊断孔边缘清晰,无毛刺及锯齿形状.

关键词：黑腔、诊断孔、电火花、铣削、惯性约束聚变

所属期刊栏目：27

分类号：TG66

资助基金：中国工程物理研究院超精密加工重点实验室基金项目ZZ2012002;国家高技术发展计划项目

在线出版日期：2015-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：136-139