电子束泵浦XeCl准分子激光器及应用

摘要：

为了获得高能紫外激光输出,开展了电子束泵浦XeCl准分子激光技术研究.详细介绍了四向电子束泵浦准分子激光装置的工作原理和结构特征,简述Marx发生器的放电电压、放电电流,激光气室中的沉积能量,激光脉冲能量、脉宽等参数的测量方法;研究了电子束泵浦XeCl准分子激光输出特性,得到了激光脉冲能量随激光气室内混合气体气压变化的规律,当激光器的充电电压为81 kV时,获得了能量100 J、脉宽200 ns的XeCl准分子激光输出,其本征效率约为3.2％.并且开展了XeCl准分子激光辐照涂层材料力学特性研究,采用微型红外通光冲量探头测量不同条件下激光辐照涂层材料的冲量耦合系数,在常压空气环境中的冲量耦合系数约为8.32×10-5N·W-1.

关键词：XeCl准分子激光、电子束泵浦、Marx发生器、本征效率、冲量耦合系数

所属期刊栏目：27

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：激光与物质相互作用国家重点实验基金项目SKLLIM1211

在线出版日期：2015-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：62-66