基于正交超声驻波场的粒子运动建模和控制

摘要：

为了获得具有均匀的倒金字塔表面微结构的多晶硅,提出了一种新腐蚀加工方法.通过建立一个相互正交的超声驻波场,来协助硅的化学侵蚀并改善其对光的吸收能力.首先对硅片表面结构进行一些比较,在二维上建立网格状的数学模型.然后建立网格中粒子运动的控制理论模型,并进行仿真验证.最后设计实验用于检验超声驻波对粒子的运动控制效果.多晶硅侵蚀结果说明将超声驻波应用在网格化微加工上是可行、可靠的.

关键词：网格化微加工、超声驻波、粒子控制、多晶硅

所属期刊栏目：27

分类号：TB559(声学工程)

资助基金：supported by National Natural Science Foundation of China 51175134

在线出版日期：2015-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：54-59