中等口径光斑激光预处理

摘要：

介绍了一种基于中等口径光斑的新型激光预处理技术.采用基频最大输出10J的Nd:YAG调Q激光器,获得了直径5 mm、能量密度满足预处理需求的中等口径光斑.较之于小光斑处理方案,采用中等光斑进行扫描,可以显著压缩大口径光学元件的预处理总耗时.为了验证效果,搭建了实验平台,在陪镀片上开展了光斑扫描与损伤阈值测量实验,设计了合理的中等光斑预处理流程,并对阈值提升效果进行了验证.在此基础上,开展了正式元件的预处理实验,采用大行程二维电动位移台,对430 mm×430mm口径的金属铪蒸发工艺高反膜元件进行了夹持和扫描.实验结果表明,经处理后的高反薄膜元件初步达到了27 J/cm2的阈值水平,证明了该技术对薄膜抗损伤能力的提升效果.

关键词：光学薄膜、中等口径光斑、激光损伤、激光预处理

所属期刊栏目：25

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3180-3184