先进光学制造技术进展
针对高功率固体激光发展的需求,总结了先进光学制造技术方面的研究进展.采用超精密制造技术提高了非球面等元件的加工精度和制造效率,并为解决低缺陷加工提供了技术途径.围绕面形误差控制,特别是中频波前误差控制,发展了多种确定性抛光技术.针对熔石英元件建立了“去除-抑制”模型及新的抛光技术,有效抑制了亚表面缺陷的产生.
先进光学制造、高功率激光、确定性抛光、表面缺陷
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TH74(仪器、仪表)
2014-01-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共8页
3098-3105