Schwarzschild物镜装卡应力对光学元件面形的影响

摘要：

为了实现接近衍射极限的分辨率,工作在极紫外波段的Schwarzschild物镜要求其光学元件的面形精度达到约1 nm(RMS值)；而在物镜的装配过程中,装卡产生的应力会影响光学元件的面形精度,定量计算装卡应力对元件面形的影响是获得高分辨率成像的关键.在光学设计、公差分析的基础上,采用有限元模型系统地分析了应力对Schwarzschild物镜光学元件面形精度的影响.结果表明:采用自行设计的物镜结构,应力对主镜面形的影响可以达到0.7 nm,而对副镜的影响可以忽略；应力所产生的光学元件面形变化会使系统的几何传递函数(5000 lp/mm)从0.76下降到0.61.

关键词：Schwarzschild物镜、有限元、面形误差、应力

所属期刊栏目：25

分类号：O434.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金项目11105098,11027507;上海市科学技术委员会科研计划项目11nm0507200

在线出版日期：2013-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2599-2603