PMP泡沫的飞秒激光烧蚀及切割方法

摘要：

对密度为90 mg/cm3的PMP泡沫材料的飞秒激光烧蚀结果进行了分析,推导出该材料在脉宽50 fs、波长800 nm、重复频率为1000 Hz的飞秒激光作用下的蚀除阈值为0.91J/cm2(100个激光脉冲),获得了烧蚀直径分别随激光功率、脉冲数及聚焦物镜数值孔径的变化规律.相同飞秒激光加工系统下,对比了铜箔上获得的烧蚀形状,确定了PMP泡沫材料本身的多孔洞及其分布不均匀是造成烧蚀区域的形状不规则的重要因素.PMP泡沫在较高能量或是较长时间的飞秒激光作用下,烧蚀区域发生碳化的原因是由热作用引发的.提出了一种基于激光束耦合的飞秒激光切割厚度大于1 mm的薄膜-泡沫材料的方法,并获得了切割厚度大于1.5mm、切割侧壁与光束光轴夹角小于5°、切割面整洁的薄片.

关键词：飞秒激光、PMP泡沫、烧蚀、切割

所属期刊栏目：25

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金项目2010B0203028

在线出版日期：2013-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2587-2591