基于背景光调制的复合光傅里叶变换轮廓术

摘要：

提出一种基于背景光调制的用于傅里叶变换轮廓术测量范围的复合光栅,该光栅通过调制一正弦条纹和不含任何相位信息的背景光来抑制零频,较基于π相移技术的复合光栅有更大的优势:背景光只含直流分量,使得复合光栅的频谱更加简单,有利于滤出载波信息,提高测量精度;对从复合光栅中解调出来的背景光只涉及平均值校准,校准过程更为简单;解调出的背景光与物体表面的反射率成正比,具有潜在的应用价值.采用Matlab程序对该复合光栅进行了数值模拟,并对该光栅实用性进行了实验研究,结果证实了该光栅用于抑制零频、扩大傅里叶变换轮廓术测量范围的有效性,且提高了测量精度.

关键词：复合光栅、频谱混叠、滤波、背景光调制、π相移技术

所属期刊栏目：25

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术发展计划项目;国家重大专项基金项目2009ZX02204-008;四川省学术和技术带头人培养基金项目07GRC-01

在线出版日期：2013-01-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：7-11