离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术

摘要：

提出了使用三坐标测量机(CMM)对离轴非球面镜进行测量的方法.通过CMM对离轴非球面镜镜面进行自动测量,获得实际面形的三维坐标数据,并与理论离轴非球面镜模型进行分析比较,得到实际镜面的面形误差值和均方根值；依据CMM的测量结果,完成了对离轴非球面镜精磨阶段的加工,解决了目前离轴非球面镜精磨阶段难于检测,以至于无法加工的问题.随着离轴非球面镜顺利进入抛光阶段,使用CMM实现了离轴非球面镜精磨检测与抛光检测的无缝对接.

关键词：离轴非球面镜、三坐标测量机、面形误差、精磨

所属期刊栏目：24

分类号：O439(光学)

在线出版日期：2013-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2665-2668