离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术
提出了使用三坐标测量机(CMM)对离轴非球面镜进行测量的方法.通过CMM对离轴非球面镜镜面进行自动测量,获得实际面形的三维坐标数据,并与理论离轴非球面镜模型进行分析比较,得到实际镜面的面形误差值和均方根值;依据CMM的测量结果,完成了对离轴非球面镜精磨阶段的加工,解决了目前离轴非球面镜精磨阶段难于检测,以至于无法加工的问题.随着离轴非球面镜顺利进入抛光阶段,使用CMM实现了离轴非球面镜精磨检测与抛光检测的无缝对接.
离轴非球面镜、三坐标测量机、面形误差、精磨
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O439(光学)
2013-01-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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