提高多层介质膜脉宽压缩光栅阈值的清洗方法

摘要：

采用HPM溶液(盐酸、双氧水和去离子水的混合液)结合氧等离子体对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗研究.用X射线光电子能谱检测光栅表面的元素成分及其原子含量的变化.实验结果表明,氧等离子体处理能有效去除光栅表面残留光刻胶和碳氟化合物；再经HPM溶液清洗,反应离子束刻蚀和氧等离子体处理过程产生的金属污染物被进一步去除.经过上述清洗工艺处理后,光栅一级衍射效率仍保持在95％以上,光栅表面激光诱导损伤阈值达到1.6 J/cm2(1053 nm,10 ps).实验结果说明了氧等离子体和HPM溶液相结合能有效清洗多层介质膜脉宽压缩光栅,并显著提高光栅损伤阈值.

关键词：多层介质膜光栅、HPM溶液、激光诱导损伤阈值

所属期刊栏目：24

分类号：TH744(仪器、仪表)

资助基金：National High Technology Research and Development Program of China

在线出版日期：2013-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2631-2636