湿法和溶脱法的亚微米ZnO:Al光栅制备

摘要：

以激光干涉法得到的光刻胶图案为掩模,采用湿法刻蚀和溶脱-剥离法制备了具有良好减反射特性的亚微米掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)光栅.表面形貌特征和反射光谱测试结果表明,湿法刻蚀较溶脱-剥离法得到的AZO光栅表面更为粗糙,两者均方根粗糙度分别为25.4,7.6 nm.在400～900 nm波段,两种方法制备的周期和高度相同的光栅,平均总反射率分别由AZO薄膜的12.5％下降到8.3％和10.2％.两者的平均镜面反射率分别为6.2％和6.6％,平均漫反射率分别为2.1％和3.6％.湿法刻蚀得到的表面较为粗糙AZO光栅的漫反射明显减弱,从而导致总的减反特性优于溶脱-剥离法得到的表面起伏相对较小的AZO光栅.

关键词：亚微米光栅、掺铝氧化锌、激光干涉法、湿法刻蚀、溶脱-剥离法

所属期刊栏目：24

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金项目10576021,60977028;上海市重点科研基金项目09JC1413800

在线出版日期：2013-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2613-2617