清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响

摘要：

采用微分干涉显微镜、扫描电镜和聚焦离子束观察了偏振分光膜损伤的形貌,从损伤机理出发,研究了清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响.结果表明:清洗能有效去除表面杂质,清洗质量越好,基板上的杂质尺寸越小,杂质密度也越小,相应的偏振分光膜S光的损伤阈值越高；清洗能有效去除基板表面的纳米吸收中心,吸收性杂质分布密度越小,吸收峰越低,P光的损伤阈值越高.

关键词：偏振分光膜、清洗、弱吸收、损伤阈值、电子束蒸发

所属期刊栏目：24

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目61008030;上海市晨光计划项目10CG19;教育部博士点基金项目20100072120037

在线出版日期：2013-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2338-2342