大口径连续相位板面形检测与评价

摘要：

基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形.采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开展了数值模拟和检测实验.理论计算结果表明:系统计算误差为0.005nm.实验结果表明,整个检测系统软硬件RMS误差小于5nm,基本满足CPP面形检测要求.从而验证了CPP检测和评价的正确性和可行性.

关键词：光学设计与制造、连续相位板、子孔径拼接检测、面形残差、惯性约束聚变

所属期刊栏目：24

分类号：O435.2(光学)

在线出版日期：2013-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2296-2300