三维PIC数值模拟中二次发射的实现

摘要：

探讨了电子撞击金属表面产生二次电子的理论,介绍了二次电子发射系数、非弹性背散射电子能量分布等重要物理参数的计算式.根据相关的理论及公式,编写了三维PIC数值模拟程序的二次发射模块,建立相应的数值模型进行模拟.模拟所得的二次电子发射系数及非弹性背散射电子的能量分布等主要参数与理论值一致,验证了模拟过程的正确性.

关键词：二次电子发射、发射系数、三维PIC数值模拟、能量分布

所属期刊栏目：24

分类号：TN244(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家973项目

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1980-1984