大口径非球面元件可控气囊抛光系统

摘要：

根据大口径非球面光学元件的实际加工需要,设计并制造可控气囊抛光系统,并对机构进行运动学仿真,仿真结果表明,气囊自转轴的运动空间可以满足大口径非球面光学元件的连续进动加工要求.为了证明所设计系统的可加工性,以直径320mm的圆形平面光学元件进行加工实验.经过该气囊抛光工具24 h的抛光后,工件达到较好的面型精度,光学元件的表面粗糙度由0.272λ减小到0.068λ(λ=632.8 nm),PV值从1.671λ降低到0.905λ.对光学元件的实际加工实验结果表明:可控气囊抛光系统在加工过程中结构稳定性好,符合设计要求,可有效提高加工工件面型精度.

关键词：大口径非球面光学元件、进动抛光、可控气囊抛光系统、设计及研制

所属期刊栏目：24

分类号：TG701(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：国家自然科学基金项目51075343;福建省自然科学基金项目2010J05122

在线出版日期：2012-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1344-1348