软X射线KBA显微镜分辨力及其影响因素

摘要：

为了对KBA显微镜的分辨能力进行准确计算,对KBA显微镜的分辨力和影响因素进行了研究,分析了衍射效应、几何像差,面形误差和粗糙度等因素对分辨力的影响,以此为基础建立了KBA显微镜的分辨力计算模型,并模拟了KBA显微镜的分辨力与视场的关系.用KBA显微镜获得了2.5keV能量的X射线成像结果,中心视场范围的分辨力约为6μm.通过实验结果与模型模拟的对比,可得建立的模型对KBA显微镜分辨力与视场尺寸的关系的描述与实际测试的结果基本符合,并对不完善之处进行了分析.

关键词：KBA显微镜、分辨力、几何像差、衍射效应、表面粗糙度

所属期刊栏目：24

分类号：O434.1(光学)

资助基金：国家高技术发展计划项目

在线出版日期：2012-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1098-1102