大型环抛面形实时监测与控制

摘要：

为解决大型激光驱动器建设中的关键工艺大型精密环形抛光技术一直存在着的控制困难、精度收敛不稳定的难题,分析了环形抛光加工中面形调整控制机理和本质,找到了传统调节控制和判断方法中的缺陷,提出了一种对环抛机面形变化基本实时的离线监测方法.这种监测方法具有结构简单、检测判断时间短和面形变化反应直观的优点.通过建立实验监测装置和实际加工验证,获得了较好的面形趋势判断和实时控制效果.

关键词：光学制造、面形监测、环抛机、关键参数

所属期刊栏目：24

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

资助基金：总装技术基础质量与可靠性项目

在线出版日期：2012-06-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：399-402