大型天文望远镜主镜镀膜技术

摘要：

采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式,开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究.结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置,对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正,分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性.结果表明:理论分析与实验数据一致,直径2.4m范围内膜厚不均匀性约5.5％.通过优化工艺,成功制备出1.8m平面镜薄膜元件,在350～1 800 nm波段范围内,膜层平均反射率88.6％,通过了环境稳定性测验.

关键词：均匀性、反射率、环境稳定性、主镜、镀膜

所属期刊栏目：24

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2012-06-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：365-369