基于空间相干性控制的环形光源技术
提出了一种利用二元相位光栅产生环形光源的新方法,并且可以实现环形光源的环半径和环厚度连续或固定可调.阐述了环形光源抑制相干噪声的原理,推导了环形光源半径及干涉腔长度与条纹对比度之间的关系.实验表明:环形光源能保持干涉条纹对比度,同时有效抑制相干噪声,环形光源模式系统的本征噪声峰谷值小于点光源模式,且没有明显“牛顿环”噪声,测量重复性和测量精度都高于点光源模式,从而提高了测量精度.
环形光源、相干噪声、二元光栅、测量重复性
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O436(光学)
中国科学院光电技术研究所资助课题
2012-05-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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