矩形元件离焦及像散计算方法

摘要：

利用Zernike多项式进行最小二乘拟合来计算矩形元件的离焦及像散,不需要波面数据在圆域内正交,从而避免了波面数据缺失区域的数据插值.通过计算圆形口径数据,与商业软件计算结果比较,差别小于0.005倍波长,证明了该方法计算离焦及像散的可行性.分析了不同长宽比下矩形元件的离焦及像散.结果表明用商业软件计算矩形口径元件像散时,随着长宽比的增加,偏差会明显增大.

关键词：离焦、像散、最小二乘法、矩形口径

所属期刊栏目：23

分类号：O436(光学)

在线出版日期：2012-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：3235-3238