基于平移旋转的球面绝对检测技术仿真分析

摘要：

基于平移旋转的球面绝对检测技术是一种实现高精度面形测量的有效手段.通过绕光轴多次等角度旋转被测球面测得被测面面形误差的旋转非对称部分,并由共心平移被测球面恢复出被测面面形误差的旋转对称部分,合成即可得到被测球面完整的面形信息.详细推导了平移旋转法的理论公式,并进行了仿真分析.仿真结果表明,基于上述方法获得的被测球面面形误差与初始面形误差残差图的均方根值为5.3000×10-12nm,其与初始面形误差均方根值的比值为1.1641×10-12,理论误差极小,满足高精度面形检测要求.

关键词：光学检测、平移旋转法、球面绝对检测、高精度面形检测

所属期刊栏目：23

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金项目60908042

在线出版日期：2012-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：3229-3234