X射线散射法测量超光滑平面
介绍了掠入射X射线散射法(GXRS法)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置.以3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,分别应用一级矢量微扰理论和改进的HarveyShack理论对其散射分布进行处理,所得结果与原子力显微镜测量结果基本相符.分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小.在所测量的空间频率范围内,功率谱密度(PSD)函数的误差随频率的增加而减小.
超光滑平面、X射线散射法、一级矢量微扰理论、功率谱密度
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O434.19;O433.4(光学)
国防科技基础研究基金
2012-05-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
3218-3222