X射线散射法测量超光滑平面

摘要：

介绍了掠入射X射线散射法(GXRS法)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置.以3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,分别应用一级矢量微扰理论和改进的HarveyShack理论对其散射分布进行处理,所得结果与原子力显微镜测量结果基本相符.分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小.在所测量的空间频率范围内,功率谱密度(PSD)函数的误差随频率的增加而减小.

关键词：超光滑平面、X射线散射法、一级矢量微扰理论、功率谱密度

所属期刊栏目：23

分类号：O434.19;O433.4(光学)

资助基金：国防科技基础研究基金

在线出版日期：2012-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3218-3222