稀疏子孔径采样检测大口径光学器件

摘要：

针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测.通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测得全口径面形进行比较.结果表明:当稀疏子孔径采样分布合理时,稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当,所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测,从而提高检测效率.

关键词：光学检测、大口径镜面、稀疏子孔径、采样、抛光

所属期刊栏目：23

分类号：TQ171.65

资助基金：国家自然科学基金项目60908042

在线出版日期：2012-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：3193-3196