基于衍射光栅的CCD相机标定方法

摘要：

提出一种基于1维线衍射光栅的CCD相机光电响应特性标定方法,该方法利用衍射光栅对入射光束的分束特性,在远场焦平面内形成一系列衍射子光斑,采取有效的方法对多组衍射子光斑峰值测量数据进行融合,得到测量灰度值及通过理论计算得到的理论灰度值,拟合两组数据从而完成对CCD光电响应特性的标定.根据实验室现有的激光源与聚焦光学系统的参数,设计了一系列l维线光栅,完成某特性未知的红外CCD相机对中红外激光光电响应特性的标定.该标定方法具有光能利用率高的特点,多组测量数据的融合扩大了CCD标定的范围,并对标定结果在光斑真实形态重构中的应用进行了分析讨论.

关键词：电荷耦合器件、线光栅、线性响应、光束质量

所属期刊栏目：23

分类号：TN386.5(半导体技术)

在线出版日期：2012-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3183-3187